Ta Sputter Target

Yusheng метален тантал разпръскване цел производство процес
Танталовите мишени за разпръскване на Yusheng Metal се обработват от танталови слитъци чрез EB електронно бомбардиране, процеси на валцуване и отгряване. Мишените, направени чрез този процес, имат еднаква кристална структура, текстура и разпределение на енергията и добра вътрешна структура.

През последните години мащабът на индустрията на IC (интегрални схеми) продължава да се разширява и технологията за обработка на чипове също се развива в посока на висока плътност. Танталът често се използва като материал за разпръскващо покритие за дифузионния бариерен слой в процеса на свързване на мед поради силната си химическа стабилност. Еднородната микроструктура на танталовите мишени за разпрашаване има пряко въздействие върху ефективността на разпрашаване.

Tantalum targets require fine and uniform grains, randomly dispersed grain orientation, and excellent film manufacturing performance. However, due to the properties of tantalum, a microstructure can easily form during cold working with a core orientation of 111 (111>/ND) and a surface orientation of 100 (100>/ND). При производството на тънки филми скоростта на разпрашаване се променя в зависимост от дебелината на целта, което влияе върху стабилността на процеса на разпрашаване.

Принцип на разпръскване на целта

Танталът често се използва в производството на електролитни кондензатори поради способността му да образува тънки оксиди и защитната природа на оксидния слой. Изпаряването е било използвано в ранните етапи на отлагането на тантал, но тъй като техниките за физическо отлагане на пари като нанасяне на разпрашено покритие се появяват в края на 60-те години на миналия век като превъзходни методи за отлагане на тънък слой, те заменят изпаряването.

В процеса на физическо отлагане на пари, йонизираните аргонови атоми използват електромагнитна механика, за да въздействат на целта, събаряйки металните целеви атоми, а металните целеви атоми се отлагат върху субстрата, за да образуват тънък филм.

мишена за разпръскване на тантал

танталова цел

Оборудване за производство на метал Yusheng

Yusheng Metal разполага с пълен набор от научни изследвания, производство, тестване, продажби и системи за обслужване от топене, коване, горещо валцуване, студено валцуване, довършване до готови материали. Разполага с 350KW електронна пещ за източно бомбардиране, 2000T хидравлична преса, 1700mm вакуумна пещ за отгряване и една 42KW и две 15KW машини за прецизно коване, 14 мелници за довършителни ленти, LDD120, LDD-40, LDD{{8} }, LDD-8 двулинейна мелница за валцоване на тръби, 2-ролкова мелница 500T, 4 мелници за студено валцоване, 6 мелници за студено валцоване Машина, 15KW двустранна машина за теглене на тел, цилиндрична мелница, машина за белене, повърхностна мелница и серия от оборудване.

Приложение на танталова мишена за разпръскване

Материалът за танталова мишена за разпръскване е направен от обработени под налягане танталови листове и има характеристиките на висока чистота, фини зърна, добра структура на рекристализация и добра триосна консистенция.
Танталовите мишени за разпръскване се използват широко в оптоелектронната и полупроводниковата промишленост. Те се използват главно за отлагане чрез разпрашаване на катодни разпрашващи покрития, активни материали с високо вакуумно засмукване, оптични влакна, полупроводникови пластини, интегрални схеми и др. Те са важна част от технологията на тънкия филм.

 

Baoji Yusheng Metal Technology Co., Ltd.е глобален доставчик на части за обработка на рядко злато от тантал, ниобий, ванадий, цирконий и хафний. Произвежда основно телове, пръти, плочи, тръби, пръстени, тигели и др. и други нестандартни части за специална обработка. Редовно ще публикуваме информация, свързана с продуктите и дисциплините на материалите на нашата компания, обхващаща цялата верига от изследвания и разработки в областта на технологията на материалите, индустриализация на материални постижения, приложение и популяризиране на материални продукти, агломерация на индустрията за материали и екология на индустрията за материали. Можете да се свържете с нас по всяко време.

 

 

Свържете се с нас

Мениджър продажби:

За контакт: Li Fengwu

Email: kd@tantalumysjs.com

Тел: 13379388917

Факс: 0917-3139100

Пощенски код: 721013

Уеб:https://www.tantalumysjs.com/

Добавяне: индустриална зона на село Wenquan, зона за развитие Gaoxin, град Baoji, провинция Shaanxi, Китай

 

 

 

Популярни тагове: ta sputter target, доставчици, производители, фабрика, персонализирани, купуват, цена, оферта, качество, за продажба, на склад