Мишена за разпръскване на тантал с висока чистота

In recent years, with the rapid development of the electronic information industry, sputtering targets for integrated circuits have also been greatly developed. Among the metal targets used to manufacture semiconductor chips, common sputtering targets are non-ferrous metals such as Ta Ti Al Co and Cu. Among them, the largest amount of metal sputtering targets for integrated circuit manufacturing is ultra-high purity aluminum (>99,999 процента ) и мишени от алуминиева сплав с ултрависока чистота, а мишената от титан с ултрависока чистота, използвана за разпръскване на бариерен слой, е мишена от титан с ултрависока чистота. В LSI електромиграцията на метални връзки е един от основните механизми за повреда. При висока плътност на тока алуминиевата жица е склонна към електромиграция, което води до образуване на издатини и кухини в алуминиевия свързващ филм, като по този начин намалява ефективността на работа и надеждността на интегралните схеми. Съпротивлението на Cu е с около 35 процента по-ниско от това на Al, а устойчивостта на електромиграция също е силна; И с широкомащабното развитие на интегралните схеми, степента на интеграция става все по-висока и по-висока и се поставят по-високи технически изисквания за производството на мишени за разпръскване за междинни и бариерни слоеве, в дълбокия субмикронен процес (По-малко или равно на 018um), медта постепенно ще замени алуминия като материал за метализирано окабеляване на силициеви пластини, медни мишени с ултрависока чистота могат да се използват повече и съответното разпръскване на мъжката бариера е мишена от тантал с висока чистота.

С увеличаването на количеството танталова мишена с висока чистота като покриващ материал за бариера срещу разпръскване, неговите изисквания за ефективност на мишената също стават все по-високи и по-високи, като по-големия и по-голям размер на мишената за разпръскване, по-фината и по-равномерна микроструктура и т.н. Следователно изследванията върху процеса на подготовка на мишени за разпръскване постепенно привличат вниманието. Понастоящем процесът на подготовка на мишена за разпръскване на тантал с висока чистота включва главно метод на топене и леене и метод на прахова металургия:

1. Подготовка на мишена за разпръскване с висока чистота чрез метод на топене и леене

Методът на топене и леене понастоящем е основният метод за приготвяне на мишени за разпръскване на тантал, обикновено суровините от тантал се топят (електронен лъч или дъга, плазмено топене и т.н.), коват се и получените блокове или заготовки се многократно горещо коват, отгряват, и след това се валцува, отгрява и завършва в целта. Блоковете или заготовките са горещо ковани, за да се разруши структурата на отливката, така че порите или сегрегацията да дифундират, да изчезнат и след това да се прекристализират чрез отгряване, като по този начин се подобрява уплътняването и здравината на тъканта.

За да се гарантира, че мишената може да разпръсква висококачествени филми, обикновено има високи изисквания за танталови мишени за разпръскване и колкото по-висока е чистотата на целевия материал, толкова по-добро е качеството на филма.

2. Подготовка на мишена за разпръскване на тантал с висока чистота чрез прахова металургия

Методите за приготвяне на танталови мишени с висока чистота чрез прахова металургия включват главно горещо пресоване, горещо изостатично пресоване, студено изостатично вакуумно синтероване и т.н. , чрез азотиране на повърхността на металния прах може да се получи танталов прах със съдържание на кислород под 300 mg/kg и съдържание на азот под 10 mg/kg, след което да се зареди във формата и след това да се формова студено и горещо изостатично пресоване или друго методи на синтероване, чистотата от 99,95 процента или повече, средният размер на зърното е по-малък от 50um или дори 10um, текстурата е произволна и текстурата е равномерна танталова цел по повърхността и дебелината на целта.

Популярни тагове: мишена за разпръскване на тантал с висока чистота, доставчици, производители, фабрика, персонализирани, купете, цена, оферта, качество, за продажба, на склад