Целевият материал има широк спектър от приложения, широк прозорец за развитие на пазара и отлични приложения в множество дисциплини. За да се ускори йонизацията на аргоновия газ, заобикалящ мишената, и да се подобри вероятността целта и аргоновите йони да се сблъскат, почти всички съвременните устройства за разпръскване използват силни магнити, за да движат електроните в спирално движение.
Увеличете скоростта на спиране. Докато непроводимите керамични материали обикновено използват RF AC разпръскване, металните слоеве обикновено използват DC разпрашаване. Основната идея е да се повлияят аргоновите (Ar) йони върху целта с помощта на тлеещ разряд във вакуум. Катионите на плазмата ще изхвърлят материал върху повърхността на отрицателния електрод, докато се ускоряват там. Целевият материал ще излети при контакт и ще се отложи върху субстрата, за да създаде тънък филм.
Като цяло прилагането на метода на разпрашване за филмово покритие има следните характеристики:
(1) Филмовата субстанция може да бъде създадена от метал, сплав или изолатор.
(2) Множество и сложни цели могат да се използват за създаване на тънък филм със същия състав, когато са налице правилните обстоятелства.
(3) Целевият материал и молекулите на газа могат да бъдат смесени или комбинирани чрез въвеждане на кислород или други активни газове в изпускателната атмосфера.
(4) Дебелината на филма с висока прецизност може лесно да се постигне чрез контролиране на целевия входен ток и времето за разпръскване.
(5) Той е по-подходящ за създаване на еднородни филми с голяма площ в сравнение с други методи.
(6) Местоположението на мишената и субстрата може да бъде свободно подредено и разпръскващите се частици по същество не се влияят от гравитацията.
