Вярвам, че всеки има познания за целите на покритието. Той преминава през системата от покрития. Мишените с твърдо покритие вече са нещо, което разбираме. Последната фаза е обобщена за всички от редактора.
Проектиране на състава на мишената, трансформация на кристалната структура на мишената, подготовка на мишената, подобряване на процеса и оптимизиране на поведението при разпрашаване на мишената са настоящите четири ключови области на интерес за изследване на целите за покритие за твърди покрития. Днес ще се концентрираме върху оптимизирането на поведението на разпрашване на мишената, последният етап от процеса на нанасяне на твърдо покритие.
Използването на целта в процеса на нанасяне на покритие трябва да бъде единственият фокус на изследването на целта. Мишената е разположена във вакуумната камера по време на процеса на приготвяне на покритието с много сложно плазмено състояние, което води до ерозия на метала на мишената. Плазмата оказва влияние върху траекторията на атома. За да се поддържа мишената в стабилно и добро състояние по време на конструкцията, от решаващо значение е да се оптимизира процесът на нанасяне на покритие. скоростта на ерозия на целта и загубата на разпръскващи атоми по време на пътуването на разпръскващия атом към субстрата по време на процеса на нанасяне на покритие с магнетронно разпрашване на целта от сплав.
Плътността на йонния ток и мишената за взривяване имат най-голям ефект върху добива на разпръскване на мишената. Загубата на ъгъл и загубата на разсейване са двата основни вида йонна енергия, загуба на разпръскващ атом. Плътността и енергията на частиците, които атакуват целта, могат да бъдат променени чрез промяна на тока на целта. Отравянето на целта може да стане по-ефективно чрез регулиране на парциалното налягане на азота. Скоростта, с която металните атоми се движат към субстрата, може да бъде ефективно контролирана чрез регулиране на отклонението на субстрата. За да се подготви покритие с по-високо качество, целевият материал може да бъде направен така, че да съответства по-добре на околната среда на вакуумната камера за покритие чрез регулиране на параметрите на процеса.
Можем да се възползваме от факта, че бързият растеж на електронната индустрия предизвика значителен напредък в редица съседни бизнеси. Напредъкът на науката и технологиите се движи от времето. Обективите с твърдо покритие са едни от основните победители, заедно с нас.
