Ванадият е сребристосив метал с плътност 6,11 g/cm3и точка на топене 1919±2 градуса. Това е рядък метал с висока точка на топене. При производството на интегрални схеми чистото злато обикновено се използва като повърхностен проводящ слой, но златните и силициевите пластини са склонни да генерират AuSi съединения с ниска точка на топене, което води до слаба връзка между златните и силициевите интерфейси.
Следователно към повърхността на златните и силициевите пластини се добавя свързващ слой. Чистият никел често се използва като свързващ слой, но също така ще се образува дифузия между слоя никел и златния проводящ слой. Следователно е необходим бариерен слой, за да се предотврати дифузия между златния проводящ слой и никеловия свързващ слой.
Бариерният слой трябва да използва метал с висока точка на топене и трябва да издържа на голяма плътност на тока. Ванадий с висока чистота може да отговори на това изискване. Ванадият с висока чистота също има добра пластичност и може да се навива на листове, фолио и да се изтегля в жици при стайна температура.
Процес на приготвяне на ванадиева цел
1. Изрежете слитък ванадий с необходимата чистота според целевия размер с помощта на хоризонтална трионна машина, загрейте предварително до 450-500 градуса, след това изковайте и контролирайте общата скорост на деформация на коването до 70-80%;
2. Отгрявайте изкования ванадиев слитък при температура от 400-500 градуса и време на задържане от 60-120 минути и след това го охладете чрез въздушно охлаждане;
3. Разточете загрятия ванадиев слитък и контролирайте степента на пресоване на всяко преминаване до 0.5-1 mm и контролирайте общата деформация до 70-80%, докато ванадиевата целева заготовка на получава се необходимия диаметър и дебелина;
4. Загрейте валцованата заготовка за ванадиева мишена отново при температура от 450 градуса -550 градуса и време на задържане от 90-150 минути. След повторно отгряване, охлажда се с вода, за да се получи необходимата заготовка за мишена от ванадий с висока чистота. Заготовката за мишена от ванадий, приготвена по този начин, не само има еднаква вътрешна структура, но също така има предимствата на фини зърна.
В допълнение към ванадиевите мишени, ние можем също така да предоставим мишени за разпръскване като никел-ванадиева сплав, кобалт-ванадиева сплав, титан-алуминиева-ванадиева сплав, желязо-ванадий-германиева сплав, кобалт-желязо-ванадий-силициева сплав и ванадиев пентоксид .
