Планарна ниобиева мишена

Мишените за разпрашаване изискват хомогенен състав, подходящ размер на частиците и специфична кристалографска ориентация, а високите изисквания на тези мишени за разпрашаване са насочени към постигане на еднаква скорост на отлагане на филм върху целия субстрат. Ниобиевите мишени се използват главно в материали за повърхностно инженерство, като морски, химически и течнокристални дисплеи, и покрития като устойчивост на топлина, устойчивост на корозия и висока проводимост. Плоската ниобиева мишена е ниобиева мишена с диаметър по-голям или равен на 150 mm, която обикновено се нарича гола мишена и потребителят първо я заварява с медна или алуминиева задна мишена, когато я използва, и след това разпръсква, за да отложи ниобиеви атоми върху материала на субстрата, за да се постигне разпръскващо покритие. За да се постигне еднородност на покритието, планарната ниобиева мишена трябва да смаже кристалите за отливане на ниобиев слитък, за да се гарантира, че вътрешната структура на ниобиевата мишена е напълно рекристализирана, размерът на зърното е по-малък от 100 μπι и е равномерен.

Нашата компания предоставя нов метод за подготовка, включващ следните стъпки: ниобиевите слитъци се изковават радиално и квадратно удължени, кованите ниобиеви слитъци се ецват, а байцваните ниобиеви слитъци се термично обработват; След това ниобиевите слитъци се сплескват и изковават, кованите ниобиеви слитъци се ецват, а байцваните ниобиеви слитъци се термично обработват; Накрая ниобиевите слитъци се валцуват, за да се получи планарна ниобиева цел.

В процеса на подготовка на ниобиева мишена, процесът на коване е комбинация от радиално квадратно, аксиално удължаване и сплескване коване, така че колонната кристална област в ниобиевия слитък, централната равноосна кристална област и околността на ръба на ниобиевия слитък, металният поток на централната част на заготовката се увеличава, неравностите на централната структура са значително подобрени и оригиналната отлята груба кристална структура е напълно счупена в множество посоки под многопосочна сила, като по този начин насърчава ниобиевия слитък за да се получи относително еднаква зърнеста структура. Избягва наличието на вредни тъкани като тъкан от "кристална лента" и груба кристална тъкан, оставена от централната част без ефективна фрагментация; В етапа на валцуване деформацията на ниобиевите слитъци е по-равномерна и след обработката, с процеса на междинна топлинна обработка, структурата на ниобиевия целеви материал е все по-хомогенна и рафинирана и накрая, равнинна кристална структура с равнинна ниобиева цел с еднородна структура и размер на зърното под 100 μm се получава. Следователно, кристална структура с равномерна ос с равномерна тъкан и размер на зърното по-малко от 100 μπι беше получена чрез този метод на получаване.

Популярни тагове: планарна ниобиева мишена, доставчици, производители, фабрика, персонализирани, купете, цена, оферта, качество, за продажба, на склад