Терминът „мишена за разпръскване“ описва източник на разпръскване, който се разпръсква и отлага върху субстрат чрез магнетронно разпрашаване, многодъгово йонно покритие или други видове оборудване за нанасяне на покритие при подходящи условия на процеса за създаване на различни функционални тънки филми. Мишените за разпрашаване са широко използвани в различни индустрии, включително слънчеви клетки, дисплеи с плосък панел, полупроводници, електроника с плосък панел, инструменти, стъкло и декоративни приложения. В различни области са необходими различни целеви материали.
Настройване на горящата цел
Съгласно процедурата, подготовката на целеви материали за разпрашаване може да бъде разделена на две категории: прахова металургия и разтопено леене. Обстоятелствата, при които материалът се нагрява по време на процеса на топлинна обработка, както и последващите техники на обработка трябва да бъдат внимателно контролирани в допълнение към чистотата, плътността, размера на зърната и кристалната ориентация на материала. контрол.
1.Металообработка с прахове
За да се подготвят успешно мишени с помощта на праховата металургия, е важно да се: (1) избере прах с висока чистота и ултра фин прах като суровини; (2) изберете технология за формоване и синтероване, която може да постигне бързо уплътняване, за да осигури ниска порьозност на целта и контрол на размера на зърното; и (3) стриктно да наблюдава въвеждането на примесни елементи.
2. Методът на леене чрез топене
Една от основните техники за създаване на мишени за разпрашаване е процесът на леене на топене. Топенето и леенето на слитъка обикновено се извършват под вакуум или защитна атмосфера, за да се гарантира, че съдържанието на примесен елемент е възможно най-ниско. Въпреки това, известно количество порьозност вътре материалната рамка е неизбежна по време на процеса на леене. Качеството на разпръснатия филм ще бъде повлияно от тези пори, тъй като те ще доведат до разпръскване на частиците по време на процеса на разпръскване. За да се намали пропускливостта му, са необходими допълнителни процедури за термична обработка и топлинна обработка.
