Всички сме наясно с тясната връзка между тенденцията на технологично развитие на материалите за мишени и тенденцията на развитие на подготовката на мишените. Целевата технология трябва да се адаптира в съответствие с това как индустрията за приложения напредва в технологията на тънкослойни стоки или компоненти. Нека последваме редактора, за да разберем как е била подготвена целта.
1. За да създадете механичен композитен прах, смесете прах от мономерен индиев оксид с прах от мономерен калаен оксид в масово съотношение 9:1 или първо създайте химически композитен прах от индиев калаен оксид, като използвате химически процедури. Прахът е 99% чист, сферичен или квази -сферични, със среден размер на частиците 30-200 nm и без признаци на твърда агломерация.
2. Деоксидирайте композитния прах при 350 градуса в кислородна среда.
3. Напълнете плика с композитния прах за студено изостатично пресоване. Като среда за студено изостатично пресоване се използва масло и се използва диапазон на налягане от 200 до 280 MPa. Получената груба плътност варира от 45% до 55% от теоретичната плътност.
4. Поставете грубата заготовка в контейнер с подходящ размер. За да ги спрете да реагират при високи температури и налягане, между контейнера и грапавото тяло се поставя метален танталов филм, никелов филм, ниобиев филм или платинен филм.
5. Вакуумирайте контейнера и го обвийте с груби заготовки.
6. Поставете гореспоменатия контейнер в пещ за горещо изостатично пресоване. С период на задържане от 0.5–6 часа и налягане на аргонова атмосфера от 100–120 MPa, горещото изостатично пресоване се извършва при температури между 100 и 300 степен .
7. Отстранете контейнера от въглеродна стомана след горещо изостатично пресоване чрез ецване в разредена азотна киселина, отлепете бариерата от метално фолио и съберете желания материал.
8. За да изрежете целевия материал до желания размер, използвайте метода на рязане с тел.
