Има много видове мишени за разпрашаване, изисквания за висока чистота и широк спектър от индустрии на приложение. Днес ще говорим за четирите вида мишени за разпръскване, които обикновено се използват в четири области, мишени от алуминий с висока чистота, мишени от титан, мишени от тантал и мишени от волфрам. Мишена от титан. Областите, които покриват, включват дисплеи с плосък панел, полупроводници, съхранение и слънчеви клетки.
Алуминиева цел (чистота на запаса 99,99 процента - 99.999 процента)
Алуминият с висока чистота и неговите сплави са един от най-широко използваните проводими тънкослойни материали. В своята област на приложение производството на VLSI чипове изисква разпръскване на целеви метали с много висока чистота, обикновено до 99,9995 процента, докато плоските дисплеи и слънчевите клетки имат малко по-ниска чистота на метала.
Titanium Target (чистота на запаса 99,99 процента - 99.999 процента)
Титанът е един от често използваните материали за бариерен филм в VLSI чипове (съответният проводящ слой е алуминий). Титаниевата цел ще се използва с титановия пръстен по време на производството преди чипа. Основната функция е да подпомогне процеса на разпрашаване на титаниеви мишени, който се използва главно в областта на производството на чипове с интегрални схеми с ултра-голям мащаб.
Мишена от титанов волфрам (чистота на запаса 99,95 процента)
Волфрам-титановите сплави имат ниска подвижност на електрони, стабилни термомеханични свойства, добра устойчивост на корозия и добра химическа стабилност. През последните години мишени за разпръскване от волфрам-титанова сплав се използват като материали за контактен слой за вериги на затвори на полупроводникови чипове. В допълнение, волфрамовите и титаниеви мишени могат също да се използват като бариерни слоеве в металната връзка на полупроводникови устройства. За среда с висока температура, главно за vlsI и слънчеви клетки.
Танталова цел (чистота на запаса 99 процента, 99,5 процента, 99,9 процента, 99,995 процента, 99,99 процента, 99,995 процента 99,999 процента)
С експлозивното нарастване на търсенето на потребителски електронни продукти като смартфони и таблети, търсенето на чипове от висок клас се увеличи значително и танталът се превърна в популярен минерален ресурс. Въпреки това, недостигът на танталови ресурси прави танталовите цели с висока чистота скъпи, които се използват главно в широкомащабни интегрални схеми и други области.
Baoji Yusheng Metal Technology Co., Ltd. е високотехнологично предприятие, специализирано в производството и продажбите наразпръскващи танталови целии огнеупорни материали от цветни метали. Продуктите се използват широко в петролна, химическа, електронна, занаятчийска, машиностроителна промишленост, медицинско оборудване и други области. Продуктите се изнасят в страни у нас и в чужбина.
