Baoji Yusheng Metal Technology Co., Ltd. е специализирана в изследването и производството намишени за разпръскване на тантали материали за вакуумно покритие. Тъй като танталът има способността да образува оксидни филми и има защитен ефект, танталовите мишени се използват широко като субстрати за производството на електролитни кондензатори. Този път беше въведено приложението на мишени за разпръскване на тантал в областта на микроелектрониката.
Танталови мишени за приложения с термични мастиленоструйни печатащи глави
Термичните мастиленоструйни печатащи глави могат да се използват при производството на тънкослойни интегрални схеми, което улеснява използването на танталови мишени. В процеса на производство на интегрални схеми тънкослойните резистори се използват за бързо нагряване на филмовия слой на мастилото с енергийна плътност, близка до 1,28E9 вата/m2, така че някои изключително малки мастила се изпаряват, за да образуват разширени мехурчета, които всъщност са малки изхвърлени капчици мастило. . Тъй като високотемпературните мастила могат да причинят кавитация в някои мастиленоструйни печатащи устройства, използването на танталови антикавитационни филми може да защити мастилените инсталации.
Танталови мишени за медно покритие
Танталовите тънки слоеве имат очевидни предимства в производствения процес на интегрални схеми. Един от основните постижения в използването на мишени за разпръскване на тантал е прилагането на медно покритие. Фоторезистните маски и техниките за плазмено ецване не могат да се използват за образуване на мед, тъй като медта е в условия на нискотемпературно плазмено ецване. Не се образуват желаните летливи съставки. Като цяло, високата проводимост на медните материали прави необходимо бариерното фолио да изолира напълно медта. Въпреки това, ако бариерният филм е твърде дебел, предимствата на високата проводимост на медните връзки се губят. Поради това е важно отлагането на бариерен филм в схемата за медно покритие да има добро покритие на стъпалата и намалени издатини при отворите/кухините на канала. При замяната на 0.10um медни интегрални схеми, бариерните филми от PVD от тантал и азотен оксид показват някои уникални предимства, като добра дифузия на мед и добра адхезия към електролити и мед.
The99,98 процента танталови целипроизведени от Baoji Yusheng Metal Technology Co., Ltd., често се използват като нагревателни части, топлоизолационни части и контейнери за зареждане за вакуумни доменни пещи. Танталовите мишени, произведени от нашата компания, не могат да се използват като субстрати в химическата промишленост. , космическа индустрия, медицинско оборудване и други области.
