Както всички знаем, един от ключовите показатели за ефективност на целта е чистотата. Изискванията за чистота на мишената се различават в практическите приложения. Използването на титанов мишенен материал с висока чистота е по-скъпо и има по-малък прозорец за приложение от типичния промишлен чист титан. Използва се основно, за да отговаря на нуждите на няколко специализирани сектора. Какво тогава са основните употреби на мишени от титан с висока чистота?
Мишените от титан с висока чистота се използват най-вече за:
1. Биологични компоненти
Тъй като титанът не е магнитен, силното магнитно поле няма да го намагнетизира. Работи добре с човешкото тяло и няма никакви отрицателни странични ефекти. Може да се използва за създаване на импланти за човешки тела. Въпреки това, като се има предвид разтварянето на примеси в титана, чистотата на титана за импланти трябва да бъде толкова висока, колкото е практично. Като цяло, медицинските титаниеви материали не достигат нивото на титан с висока чистота. Биологичната лента може да бъде направена от титаниева тел с висока чистота. Вградената в катетър титанова игла за инжектиране също е достигнала нивото на титан с висока чистота.
2. Материали за декорации
Титанът с висока чистота запазва оригиналния си естествен оттенък дори след продължително излагане на атмосферата благодарение на високата си устойчивост на атмосферна корозия. В резултат на това материалите за архитектурни орнаменти също могат да бъдат направени от титан с висока чистота. Освен това през последните години титанът е използван за направата на няколко висококачествени аксесоари и облекла, включително гривни, часовници и рамки за очила. Титанът се използва, защото е устойчив на корозия, не променя цвета си, може да запази добър блясък за много дълъг период от време и не дразни човешката кожа, когато влезе в контакт с него. Нивото на чистота 5N за титана, използван в са постигнати някои разкрасявания.
3. Събирач на материали
Титанът е особено реактивен метал с химични характеристики, които му позволяват да взаимодейства с голямо разнообразие от вещества при високи температури. На повърхността на титан с висока чистота възниква силна активна адсорбция на газ, включително O2, N2, CO, CO2 и водни пари над 650 градуса. На стената на помпата титановият филм, който се изпари, може да създаде повърхност с висок адсорбционен капацитет. Поради тази характеристика, Ti често се използва като геттер в системи за изпомпване на изключително висок вакуум. Крайното работно налягане на йонната помпа за разпръскване може да бъде толкова ниско, колкото 10-9Pa, когато се използва в помпи за сублимация, помпи за разпръскване на йони, и т.н.
4. Информационни носители в електронен вид
Използването на титан с висока чистота в мишени за разпрашаване, интегрални схеми, DRAM и дисплеи с плосък панел напоследък се разшири в резултат на бързото разрастване на високотехнологичните индустрии в области като полупроводникови технологии и информационни технологии. Движете се напред. Като дифузионни бариери и материали за окабеляване за контролни електроди в полупроводниковата VLSI индустрия, титанови силициеви съединения, титанови азотни съединения, волфрамови титанови съединения и др. Тези материали се произвеждат с помощта на техниката на разпръскване, която изисква титаниева мишена с висока степен на чистота, особено за радиоактивни и алкални метални елементи.
Наскоро започна да се използва и титан с висока чистота, който съответства на чистотата на титаниевата мишена, използвана в процеса на разпръскване. Чистотата на титания в момента трябва да бъде поне 4N5 (99,995%) или 5N (99,999%) за 4 Mbit VLSI, докато трябва да бъде поне 6N (99,9999%) за 16 Mbit трето поколение VLSI.
